Sensofar是一家來自西班牙、專注于三維表面形貌測量的高科技公司，成立于1999年。它最鮮明的特點是將共聚焦、白光干涉和多焦面疊加三種測量技術(shù)融于一身。
Sensofar共聚焦顯微鏡的核心定位是非接觸式3D光學(xué)表面輪廓儀。它不僅僅是一臺顯微鏡，更是一臺高精度的計量儀器。其顯著的特點是將多種光學(xué)測量技術(shù)集成于一體，用戶可以根據(jù)樣品特性在同一臺設(shè)備上無縫切換最合適的測量模式，以獲得精確的數(shù)據(jù)。新型Sensofar共聚焦顯微鏡S neox在性能、功能、效率和設(shè)計方面優(yōu)于現(xiàn)有的3D光學(xué)輪廓儀，是新一代共聚焦顯微鏡測量系統(tǒng)。
特點：
1.驚人的測量速度
通過采用新的智能和自有的算法以及新型相機，達到驚人的測量速度。數(shù)據(jù)采集速度達 180 fps。標(biāo)準(zhǔn)測量采集速度比以前快5倍。新型Sensofar共聚焦顯微鏡S neox 成為市場上速度極快的表面測量系統(tǒng)。
2.易于使用
Sensofar致力于為客戶提供最令人難以置信的體驗。隨著第五代 S neox 共聚焦顯微鏡系統(tǒng)的誕生，我們的目標(biāo)是使其易于使用、直觀且更快速。即使是初學(xué)者，只需點擊一下，即可操作測量。模塊化設(shè)計的軟件，使系統(tǒng)適應(yīng)用戶多樣的需求。
3.豐富的自動化模塊，方便進行質(zhì)
量管控。從操作員訪問權(quán)限控制、測量程序存儲、兼容性到條形碼/QR 讀取器，以及我們專有 SensoPRO 軟件中的定制插件，都可以自動生成分析報告。我們的優(yōu)化解決方案能夠在 QC 環(huán)境中工作，其具有靈活性和易于使用的界面，可編程并24小時工作。
4.研發(fā)
Sensofar的三合一方法—只需點擊一次，系統(tǒng)即可切換到適合當(dāng)前測量任務(wù)的掃描模式。在 S neox 傳感器頭中配置三種測量技術(shù)—共聚焦、干涉、Ai 多焦面疊加—這些都為系統(tǒng)的多功能性做出了重要貢獻，并有助于非常有效地減少數(shù)據(jù)采集中的噪點。S neox 是所有實驗室環(huán)境的理想之選,適用范圍廣泛。
5.Ai 多焦面疊加NEW!
主動照明多焦面疊加是一種為了測量大粗糙表面形狀而開發(fā)的光學(xué)技術(shù)。這項技術(shù)基于 Sensofar 在共聚焦和干涉 3D 測量領(lǐng)域的廣泛專業(yè)知識，專門設(shè)計用于補充低放大率下的測量。通過使用主動照明，即使在光學(xué)平滑的表面上也能獲得更可靠的測量數(shù)據(jù)，這一點已經(jīng)得到了改進。該技術(shù)的亮點包括高斜率表面(高達 86º),更快的速度(mm/s)和較大的垂直范圍測量。
6.共聚焦
共聚焦輪廓儀的開發(fā)目的是，測量從光滑表面到非常粗糙表面的表面高度。共聚焦輪廓提供更佳的橫向分辨率，可達 0.14μm 水平分辨率，空間采樣可減少到 0.01μm，這是關(guān)鍵尺寸測量的理想選擇。高達NA (0.95) 和放大倍率(150X) 的物鏡可用于測量局部斜率超過 70°的光滑表面。對于粗糙表面，可允許 86°。自有的共聚焦算法提供了納米尺度上的垂直重復(fù)性。
7.干涉
光學(xué)干涉是利用參考鏡和樣本上產(chǎn)生的兩束反射光在零光程差時產(chǎn)生干涉的現(xiàn)象來生成三維干涉圖樣(干涉圖)，包含樣本表面形貌上的信息。該方式的各種變化可用于具體不同的應(yīng)用。
8.薄膜
薄膜測量技術(shù)快速、準(zhǔn)確、無損地測量光學(xué)透明層的厚度，且不需要樣品制備。該系統(tǒng)獲取可見光范圍內(nèi)樣品的反射光譜，并與軟件計算的模擬光譜進行比較，準(zhǔn)確地找到匹配的厚度?？梢栽诓坏揭幻腌姷臅r間內(nèi)測量出 50nm 到 1.5μm 的透明膜。測量光斑取決于物鏡放大率，范圍從0.5μm到40μm。
9.LED光源的優(yōu)勢
用LED做照明光源要比用激光更有優(yōu)勢。首先LED光源可以避免發(fā)生激光光源的散斑現(xiàn)象。其次LED光源的使用壽命約50000小時(約25倍于激光)。最重要的是多個LED就意味著可以根據(jù)樣品的需求選擇適合的波長來測量。
10.可追溯的精確測量
每一臺SNEOX都是為了實現(xiàn)精確且可追溯地測量。我們的設(shè)備使用符合ISO25178中的Part 700和Part 600標(biāo)準(zhǔn)的可追溯標(biāo)準(zhǔn)塊進行校正。所有的指標(biāo)，包括高度及水平精度、平面度偏差、系統(tǒng)分辨率等都以測量此類標(biāo)準(zhǔn)塊而得到。我們堅持所有的測量設(shè)備按照此標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行。
SNEOX出廠前都采用已計量、可追溯的標(biāo)準(zhǔn)塊做校正，并且確認(rèn)符合標(biāo)準(zhǔn)才會出廠。同時SENSOFAR會隨設(shè)備附上測量精度和重復(fù)性的檢測報告。
S neox系列(旗艦型)：這是Sensofar的第五代產(chǎn)品，代表了其技術(shù)的集大成者。它搭載了Microdisplay共焦技術(shù)，掃描頭內(nèi)無運動部件，既保證了高速掃描(數(shù)據(jù)采集達180幀/秒)，又避免了震動對精度的影響。此外，其"連續(xù)共聚焦掃描"技術(shù)還能將掃描速度再提高3倍。Z軸精度可達0.1納米，XY軸分辨率最高0.14微米。
主要應(yīng)用領(lǐng)域：
憑借其高精度和多技術(shù)的適應(yīng)性，Sensofar的顯微鏡被廣泛應(yīng)用于各個高精尖領(lǐng)域：
1.半導(dǎo)體與微電子：用于晶圓表面形貌、臺階高度、刻蝕深度的納米級檢測。
2.精密制造：測量汽車零部件、光學(xué)鏡片、精密模具的粗糙度、輪廓和磨損情況。
3.醫(yī)療器械：評估支架、骨科和牙科植入物的表面紋理，以確保其生物相容性。
4.材料科學(xué)：分析新材料、涂層的表面特征和摩擦學(xué)性能。
5.科研與學(xué)術(shù)：為大學(xué)和研究機構(gòu)提供高精度的三維表面表征工具，例如北京大學(xué)、南京市計量監(jiān)督檢測院等都是其用戶。
產(chǎn)品型號：S neox
